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臭氧---生物活性炭氧化生化比較難處理的污物用密封系統的強氧化生化技術可處理掉。在前2級生化處理工藝后，中間水池的濾液仍含有諸多如生化法不能降解的cod和aox（有機氯化合物）需要進一步用臭氧氧化法和生物活性炭生化降解法處理才能達到相應的排放或回收標準。
空氣（富氧空氣或氧氣）的濕度、溫度、流量、壓力、發生器功率等條件都會導致臭氧濃度和產率的變化，如氣體含水量（或露點）會明顯影響臭氧濃度和產率。
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